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工业通用高压型压力传感器PM95G系列 基于ME

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发表于 2006-7-27 17:26:00 | 显示全部楼层 |阅读模式



工业通用高压型压力传感器PM95G系列
基于MEMS (微机电)技术的压力传感器,它是建立在微米/纳米基础上,在单晶硅片上主rj融制作惠斯登电桥( Wheatstone bridge )组成的硅应变计,具有输出灵敏度高,性能稳定,批量可靠性、重复性好等优点。
经500℃以上高温熔化玻璃, 将硅应变片烧结在17-4PH不锈钢传感弹性体上,弹性体受压变形后产生电信号,由带微处理器的数字补偿放大电路进行放大,经数字软件进行全智能温度补偿,输出标准信号。传感器数字电路针对射频、电磁干扰、浪涌电压的工况进行精心设 计,具有抗干扰能 力强,供电范围宽、极性保护等特点。

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